Bạn đang xem: Phân tích edx là gì
Thiết bị so sánh phổ tán xạ tích điện tia X hay còn được gọi là thiết bị EDX dùng làm phân tích nguyên tố nguyên tố tất cả trong mẫu lẫn cả về định tính với định lượng (%); Phổ X-Ray; phổ EDX; phổ EDS.
Đây là một số loại đầu dò EDS được gắn vào hệ thống kính hiển vi điện tử SEM, TEM hoặc FIB mục đích xác minh được nguyên tố có trong mẫu cần phân tích cùng thành phần xác suất nguyên tố kia theo trọng lượng trong vùng được quét.
Specifications• Octane Elect SDD options:• Plus (30 mm2)• Super (70 mm2)• 127 e
V resolution at Mn Ka at 10k cps• Carbon detection:> 500k cps for ultra-fast mapping andparticle acquisition• Detection range: AL L (73 e
V) – Am• Throughput: 700k ocps at 1.6m icps• Cooling: Peltier• Al L khổng lồ Al K peak height ratio of 1:1 at2.5 k
V• Supplied with APEX software for EDS –standard & advanced options available• APEX software available for integrated
EDS-EBSD applications
Octane thuộc dòng đầu dò so với phổ tia X với technology đầu dò silicon SDD tốc độ phân tích nhanh, độ phân giải cao mang lại độ nhạy giỏi ngay cả với các nguyên tố nhẹ cùng với điện áp so sánh thấp.
Octane bao gồm 2 một số loại độ rộng cửa sổ là 30mm2 với 70mm2, độ sắc nét 125e
V (Mn)
The EDAX Octane Elect EDS system is an enhanced energy dispersive x-ray spectroscopy (EDS/EDX) platform with the latest silicon drift detector (SDD) technology & high-speed electronics advancements. Tailored for users who demand higher performance and functionality, the Octane Elect EDS system provides excellent resolution & high throughput at an optimal value with remarkable low-energy sensitivity for light element detection và low voltage (k
V) microanalysis.
Xem thêm: Mẹ Ta Không Có Yếm Đào Phân Tích, Just A Moment
Resources
The Octane Elect SDDs are available in 2 models:EDAX Octane Elect Plus – 30 mm2chipEDAX Octane Elect Super – 70 mm2chip
Best light element performanceThe Octane Elect SDD with a silicon nitride (Si3N4) window offers major transmission improvements compared to detectors with a polymer window, leading to greatly improved light element performance & significantly more critical data for the materials analyst.
Low kV performance
The mechanical properties of Si3N4 allow the use of thinly fabricated windows with a low aspect ratio tư vấn grid, offering a significant benefit in terms of low energy sensitivity & optimal low voltage analysis.
Features and benefits
Optimized SDD electronics for stable energy at high collection ratesFast pulse processing for mapping và quantification
Optimized data chất lượng at all count rates
High-resolution quantitative analysis at mapping speeds greater than 400,000 đầu ra cpsThroughput
The EDAX EDS systems with advanced detection electronics offer the highest throughput count rate on the market for the best possible analysis và increased productivity.
ReliabilityThe design of the SDDs, with the material properties and durability of the Si3N4 window, offers the most robust & reliable detectors for all EDS applications. The unique design means they are corrosion and shock-resistant and suitable for plasma cleaning.
EDAX APEX EDS software allows users lớn optimize their analysis time và get the best possible data from their sampleAPEX™ ensures high-quality, accurate results và increased productivity with its easy-to-use interface, live-time graphical display, & simultaneous nhận xét mode.
Phổ tia X phạt ra sẽ có được tần số(năng l-ợng phôtn tia X) trải vào một vùng rộng với đ-ợc đối chiếu nhờ phổ kế tán dung nhan năng l-ợng cho nên vì thế ghi nhận tin tức về những nguyên tố cũng nh- thành phần.Phổ tán dung nhan năng l-ợng tia X xuất xắc phổ tán dung nhan năng l-ợng là kĩ thuật so với thành phần hoá học tập của đồ rắn phụ thuộc vào việc khắc ghi phổ tia X phát ra từ đồ gia dụng rắn vì t-ơng tác với các bức xạ ( chủ yếu là chùm năng lượng điện tử bao gồm năng l-ợng cao trong số kính hiển vi năng lượng điện tử ).Trong những tài liệu khoa học, kĩ thuật này th-ờng đ-ợc viết tắt là EDX hay EDS lên đường từ tên thường gọi tiếng anh Energy-dispersive X-ray spectroscopy
Bạn sẽ xem ngôn từ tài liệu Đề tài phương thức phân tích phổ EDS, để cài đặt tài liệu về máy bạn click vào nút tải về ở trên
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI BÁO CÁO KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ ĐỀ TÀI: Phương phỏp phõn tớch phổ EDS ( Energy-dispersive X-ray spectroscopy) SVTH: Nguyễn Văn Du Lớp: vật tư Điện Tử GV cỗ mụn: TS. Nguyễn Ngọc Trung Tr•ờng đh bách khoa hà nội báo cáo kĩ thuật so sánh phổ Đề tài: Ph•ơng pháp đối chiếu phổ EDS (Energy-dispersive X-ray spectroscopy) sinh viên thực hiện: Nguyễn Văn Du Lớp: vật tư Điện Tử GV cỗ môn: TS. Nguyễn Ngọc Trung Hà Nội, Ngày 25 mon 05 năm 2009 Nội dung report 1. Bao hàm chung về kĩ thuật so sánh phổ. 2. Nguyên tắc của phép phân tích bởi EDS. 3. Kỹ năng ghi nhận và độ đúng chuẩn của EDS. 4. Một vài áp dụng của phép đối chiếu . 5. Đánh giá chỉ ph•ơng pháp và Kết luận. I. Tổng quan liêu về phép so với phổ EDX kĩ thuật EDX đ•ợc phát triển từ ngững năm 1960 cùng thiết bị th•ơng phẩ xuất hiện vào đầu trong thời gian 1970 với việc áp dụng Detector dịch rời Si, Li hoặc Ge. Có tương đối nhiều thiết bị đối chiếu EDX nh•ng hầu hết EDX đ•ợc cải tiến và phát triển trong những kính hiển vi năng lượng điện tử, ổ đó những phép phân tích đ•ợc thực hiện nhờ những chùm năng lượng điện tử có năng l•ợng cao cùng đ•ợc thu thuôn nhờ hệ những thấu kính điện tử. Sỏ đồ cấu trúc máy phân tích SEM vận dụng của EDX Phổ tia X phát ra sẽ có tần số(năng l•ợng phôtn tia X) trải vào một vùng rộng và đ•ợc so sánh nhờ phổ kế tán nhan sắc năng l•ợng cho nên vì vậy ghi nhận thông tin về các nguyên tố cũng nh• thành phần. Phổ tán dung nhan năng l•ợng tia X tuyệt phổ tán sắc năng l•ợng là kĩ thuật đối chiếu thành phần hoá học của đồ gia dụng rắn phụ thuộc việc đánh dấu phổ tia X phân phát ra từ thiết bị rắn vì t•ơng tác với những bức xạ ( đa số là chùm điện tử bao gồm năng l•ợng cao trong những kính hiển vi năng lượng điện tử ). Trong các tài liệu khoa học, kinh nghiệm này th•ờng đ•ợc viết tắt là EDX giỏi EDS xuất hành từ tên gọi tiếng anh Energy-dispersive X-ray spectroscopy II. Nguyên lý của EDS khi chùm năng lượng điện tử bao gồm mức năng l•ợng cao đ•ợc chiếu vào vật rắn, nó đang đâm xuyên sâu vào nguyên tử vật rắn cùng t•ơng tác với các lớp điện tử phía bên trong của nguyên tử T•ơng tác này dẫn mang đến việc tạo ra các tia X bao gồm b•ớc sang sệt tr•ng tỉ trọng với nguyên tử số (Z) của nguyên tử tuân theo định chính sách Mosley: Tần số của tia X phạt ra là sệt tr•ng với nguyên tử của mỗi chất xuất hiện trong hóa học rắn. Việc ghi nhấn phổ tia X phát ra từ đồ gia dụng rắn sẽ mang đến ta các thông tin vow những nguyên tố hoá học có mặt trong mẫu. Đồng thời chow các thông tin vow tỉ phần các nguyên tố này. Hình hình ảnh phổ tán sắc năng l•ợng tia X của chủng loại màng mỏng dính ghi nhấn trên kính hiển vi năng lượng điện tử truyền qua. Điều đó có nghĩa là tần số tia X phạt ra là đặc tr•ng với nguyên tử của mỗi chất xuất hiện trong chất rắn. Bài toán ghi thừa nhận phổ tia X vạc ra từ thứ rắn đã cho thông tin về những nguyên tố hoá học có mặt trong mẫu mã đồng thời cho những thông tin về tỉ phần các nguyên tố này. III.Kĩ thuật ghi nhận và độ đúng chuẩn của EDS I.1 kinh nghiệm ghi dấn Tia X phỏt ra từ đồ gia dụng rắn (do tương tỏc với chựm điện tử) đang cú tích điện biến thiờn vào dải rộng, vẫn được mang tới hệ tỏn sắc và ghi dấn (năng lượng) nhờ detector di chuyển (thường là Si, Ge, Li..) được thiết kế lạnh bởi nitơ lỏng, là 1 con chip nhỏ dại tạo ra năng lượng điện tử sản phẩm công nghệ cấp bởi tương tỏc với tia X, rồi được lỏi vào một trong những anốt nhỏ. độ mạnh tia X tỉ trọng với tỉ phần nguyờn tố cú mặt trong mẫu. Độ phõn giải của phộp phõn tớch dựa vào vào kớch kích thước chựm năng lượng điện tử cùng độ tinh tế của detector (vựng hoạt động tớch cực của detector). I.2 Độ chính xác của EDX Độ chớnh xỏc của EDX ở lever một vài tỷ lệ (thụng hay ghi nhận được sự cú khía cạnh của cỏc nguyờn tố cú tỉ phần kích cỡ 3-5% trở lờn). Tuy nhiờn, EDX trầm trồ khụng công dụng với cỏc nguyờn tố dịu (vớ dụ B, C...) cùng thường mở ra hiệu ứng trồng chập cỏc đỉnh tia X của cỏc nguyờn tố khỏc nhau (một nguyờn tố thường xuyên phỏt ra nhiều đỉnh đặc trưng Kα, Kβ..., cùng cỏc đỉnh của cỏc nguyờn tố khỏc nhau cú thể ông xã chập lờn nhau gõy khú khăn mang đến phõn tớch). IV.Một vài áp dụng của phép so sánh 1. Nghiờn cứu nạp năng lượng mũn vỏ đồng đội quay xi măng Ăn mòn vỏ lò xoay Ximăng đ•ợc chia thành hai loại: làm mòn trong quá trình dừng lò bởi ng•ng tụ hoặc dung nạp n•ớc và làm mòn ( ánh sáng cao) trong quá trình lò làm việc. 2. Hình thái và thành phần của gỉ sắt. Các sản phẩm ăn mòn phần nhiều giòn, xốp và gần giống cốc. Gỉ ở chỗ tiếp xúc với gạch chịu lủa bao gồm màu nâu nhạt còn ở đoạn tiếp xúc cùng với vỏ thép bao gồm màu nâu nhẵn hoặc black óng. Gỉ điển hỡnh. Phớa gạch chịu đựng lửa: đen, nõu. Phớa vỏ số đông - sỏng búng và đen Phõn tớch máu diện ngang của gỉ bằng phương phỏp SEMIEDX cho biết gỉ cú cấu trỳc xốp và đa lớp - gồm nhiều lớp tiếp đến nhau với yếu tắc chớnh là oxyt sắt với sunphua sắt. Trường đoản cú đú cú thể phõn biệt được ba loại gỉ: - Gỉ khụng chứa clo cùng kiềm - Gỉ cất clo khụng đựng kiềm - Gỉ đựng cả clo và kiềm Biểu vật EDX mặt cắt của gỉ, mỗi biểu vật lần lượt khớp ứng với O, S, Cl, và K. Cam kết hiệu Ka dưới mỗi hình ảnh là chỉ tớn hiệu phõn tớch được là tớn kiệu Ka Phõn tớch EDX được triển khai trờn 4 chủng loại được lấy xung quanh một vị trớ: một chủng loại bột gỉ ép mịn, một mẫu mã gỉ phớa gạch, một mẫu gỉ phớa vỏ thộp, cùng một mẫu ở đỏy của gạch chịu lửa . Công dụng được trỡnh bày trờn bảng 1. Cú thể thấy rằng các chất lưu huỳnh (S), clo (Cl) và kali (K) ở nhị mặt gỉ khôn cùng giống nhau: S = 3,5%, Cl = 6% với K = 0,5%. Bột ăn uống mũn cú lượng chất S cao hơn (cỡ 15%) cũn Cl thấp hơn (chỉ khoảng chừng 2,5%). Đỏy của gạch men cú thành phần gần giống sản phẩm nạp năng lượng mũn. Phổ X-ray của bốn thành phầm đều cú oxyt sắt với sunphua fe với hàm vị khỏc nhau Bảng 1. Phõn tớch vi lượng 4 chủng loại lấy bao quanh một vị trớ (% khối lượng) Gỉ sắt Sắt lưu huỳnh Clo Kali Bột gỉ 74 15 2,5 0,5 Gỉ phớa gạch, màu buổi tối 85 3,5 6,0 0,5 Gỉ phớa vỏ thộp, color sỏng 85 3,3 6,5 0,5 chủng loại ở đỏy viờn gạch chịu lửa 56 13 5,5 1,0 . Bảng 2 là hiệu quả phõn tớch cha mẫu: bột nạp năng lượng mũn, gỉ phớa vỏ đàn và gỉ phớa gạch. Một đợt nữa, bột ăn mũn lại đựng được nhiều lưu huỳnh rộng hai nhiều loại gỉ nạp năng lượng mũn tương ứng. Tuy nhiờn gỉ lại chứa không hề ít kali mặc dự vẫn đựng một lượng clo dư. Bảng 2. Phõn tớch vi lượng 3 mẫu lấy bao quanh một vị trớ (% khối lượng) Gỉ fe Sắt sulfur Clo Kali Bột gỉ 64 14 12 6,5 Gỉ phớa gạch, màu về tối 64 1,5 19 7,0 Gỉ phớa vỏ thộp, màu sỏng 81 2,0 11 3,0 . Phõn tớch định lượng EDX vi cấu trỳc của gỉ Trờn: phõn tớch định lượng Dưới: SEM của gỉ Ở biểu đồ dùng trờn cú cỏc nguyờn tố O, S với K Hỡnh hình ảnh phõn tớch SEM-EDX trờn máu diện ngang của gỉ cất kiềm. Lần này cực lớn của S khụng buộc phải lỳc nào thì cũng trựng với cực tiểu của O. Trỏi lại, ở số đông vựng được đỏnh lốt (a) cựng cho cỏc tớn hiệu của O, S với K, trong lúc đú cỏc lớp thấp oxy, cao giữ huỳnh với phi kiềm chỉ thấy ở hầu như vựng đỏnh vệt (b). Những hình ảnh khỏc của cỏc nguyờn tố này cũng cú cựng quánh trưng. Tại đông đảo vựng mà lại cỏc hợp hóa học của O, S với K chiếm ưu vắt thỡ hỡnh hình ảnh rất rừ nột. Tớn hiệu của Cl thường xuyên khụng đi kốm tớn hiệu của K với S. V.Đánh giá bán ph•ơng pháp & tóm lại •u Điểm: Phổ tia X phỏt ra sẽ cú tần số (năng lượng photon tia X) trải trong một vựng rộng cùng được phõn tich nhờ phổ kế tỏn sắc tích điện do đú ghi nhấn thụng tin về cỏc nguyờn tố cũng tương tự thành phần. . Độ phõn giải của phộp phõn tớch nhờ vào vào kớch kích cỡ chựm điện tử cùng độ nhạy bén của detector (vựng chuyển động tớch cực của detector). Nh•ợc Điểm: Độ chớnh xỏc của EDX ở lever một vài tỷ lệ (thụng hay ghi cảm nhận sự cú mặt của cỏc nguyờn tố cú tỉ phần kích thước 3-5% trở lờn) EDX tỏ ra khụng công dụng với cỏc nguyờn tố dịu (vớ dụ B, C...) và thường xuất hiện thêm hiệu ứng trồng chập cỏc đỉnh tia X của cỏc nguyờn tố khỏc nhau (một nguyờn tố thường xuyên phỏt ra nhiều đỉnh đặc trưng Kα, Kβ..., với cỏc đỉnh của cỏc nguyờn tố khỏc nhau cú thể ck chập lờn nhau gõy khú khăn mang lại phõn tớch). Kỹ năng loại nhiễu hèn hơn WDS. The end! Cảm ơn thầy đã giúp đỡ em kết thúc bài report và môn học!
